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투과전자현미경을 이용한 상전이형 광디스크의 미세조직 관찰

Microstructural Observation of Phase Change Optical Disk by TEM

한국현미경학회지 1999년 29권 4호 p.493 ~ 498
김수철 ( Kim Soo-Chul ) - 한국과학기술연구원 특성분석센터

김긍호 ( Kim Gyeung-Ho ) - 한국과학기술연구원 재료연구부

Abstract

기억저장매체로서 광디스크의 개발이 활발히 진행되고 있으며 최근의 레이저 기술의 발전, 제조기술의 발전에 따른 기억밀도의 증가로서 기존의 자기기록매체와 경쟁을 하고 있다. 기록밀도의 증대와 신뢰성의 향상을 위하여 다층박막 구조를 가지는 광디스크의 미세구조는 더욱 복잡하며 소형화되고 있다. 이종의 물질로 구성된 다층박막형 광디스크의 미세구조 관찰 및 분석을 위해서는 투과전자현미경과 같은 미소영역 분석법이 필수적이며 비교적 간단하고 신뢰성 높은 시편준비법의 확립이 선행되어야 한다. 본 연구에서는 투과전자현미경 분석을 위한 광디스크의 평면 및 단면시료 제작법을 제시하고 제조된 시편으로부터 얻어진 광디스크의 미세구조 분석결과를 보고한다.

With increasing demand for fast and reliable, yet economical data storage devices, the role of optical disk technology is becoming more important. In recent years, advanced laser technology combined with new materials has given the competitive edge over the traditional magnetic memory devices both in memory capacity and reliability of data retrieval. Continuing effort is being put into developing smaller and more complex structures for optical disks to increase their memory density. Characterization of such multilayered structure requires not only high spatial resolution for observation but also laborious specimen preparation. In this paper, the method of preparing optical disk specimens for TEM characterization is described in detail. The microstructural features in optical disks observed by TEM are also discussed.

키워드

Optical disk;TEM;Sample preparation;ion milling
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KCI