저온 농축법에 의한 수소와 헬륨 중의 미량가스 분석
Analysis of Trace Impurities in The Bulk H2 and He Gases by a Cold Concentration Method
대한화학회지 1998년 42권 5호 p.526 ~ 530
이택홍, 박두선, 손무용,
소속 상세정보
이택홍 ( Lee Taeck-Hong ) - Daesung Sanso Co., Ltd. Daesung Cryogenic Research Institute
박두선 ( Park Doo-Seon ) - Daesung Sanso Co., Ltd. Daesung Cryogenic Research Institute
손무용 ( Son Moo-Ryong ) - Daesung Sanso Co., Ltd. Daesung Cryogenic Research Institute
KMID : 1059519980420050526
Abstract
가스분석에서 극미량 성분분석은 반도체 관련 산업의 발달과 더불어 매우 중요하다. 특히 반도체 생산설비 중 가스공급시스템의 공기성분에 의한 오염은 제조자에게 어려움을 제공해 왔다. 그래서 공기성분의 분석은 반도체의 품질조절에 매우 중요하다. 본 연구에서는 가스분석에서 범용으로 사용되는 열전도도 검출기를 장착한 가스크로마토그래프와 액체질소트랩을 이용하여 헬륨과 수소 중의 질소와 아르곤성분을 분석하였다. 농축법으로 결정된 미지 시료의 농도를 다른 종류의 검출기와 비교 분석하였다. 이 방법에 의해서 결정된 농도는 결정된 확장불확도 범위 내에서 만족할 만한 결과를 보여 주었다.
Analysis of trace impurities in the gases has been very important with the development of semi-conductor related industry. Particularly, the contamination of the gas handling systems in a semi-conductor plant by the air has been a trouble to the manufacturers. Thus, the analysis of the air components in the system has been a task to the analysts. In this study, we report the analysis data with a expanded uncertainty for the trace impurities of nitrogen and argon in the bulk helium and hydrogen. All data show a good correspondence, exhibiting reliable statistical error ranges.
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